高精密直线电机模组(龙门双驱结构)
一段式基板检测运动行程为1200x500mm，另有1500mm、1800mm、2200mm可选
1200万像素高清晰度高帧率相机
60x45mm(15um解析度)的视野尺寸
满足客户超大尺寸及高精度的基板检测需求
